位置センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-064246
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270121
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】本発明は、高分解能化のため、スリット板を格子ピッチ変化のある回折格子とし、その移動による回折角の変化から移動量が検出できる機械精度を必要としない簡単な構成の位置センサを提供することを目的とする。【構成】光源からの光を場所により異なるピッチを持つ回折格子に入射し、入射光が前記回折格子に入射する位置が変化することによる回折角の変化を検知することにより、前記光源又は前記回折格子の位置変化を検出する位置センサで、高分解能、高検出精度の位置検出を行うことができるようにした。

請求項（抜粋）：

光源からの光を場所により異なるピッチを持つ回折格子に入射し、入射光が前記回折格子に入射する位置が変化することによる回折角の変化を検知することにより、前記光源又は前記回折格子の位置変化を検出することを特徴とする位置センサ。

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