特許

J-GLOBAL ID：200903033471581527

カラーフィルタの作成方法

発明者： 遠藤 和之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289193
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115707
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 バーコート法及びフォトリソグラフィ法を用いてカラーフィルタを作成する際、基板に予め形成されるアライメントマークの破損もしくは破壊を防止する。【解決手段】 先ずマーキング工程を行ない、基板1の周辺領域に所定パタンの薄膜片からなるアライメントマーク2を形成する。次に塗工工程を行ない、着色感光材5を浸したワイヤーバー3とローラー4との間に基板1を挿入し、着色感光材5を基板1に転写して一様に塗工する。この後フォトリソグラフィ工程を行ない、アライメントマーク2を基準にしてフォトマスクを基板1に対して位置決めし、フォトマスクを介して着色感光材5を露光し且つ現像して一色分のカラーパタン6rを形成する。マーキング工程では、後の塗工工程で基板1とワイヤーバー3との接触に起因するアライメントマーク2の破損を防止する為、アライメントマーク2自体及び/又はアライメントマーク2の近傍にワイヤーバー3からの応力を分散化可能なパタンの薄膜片を配置する。

請求項（抜粋）：

基板の周辺領域に所定パタンの薄膜片からなるアライメントマークを形成するマーキング工程と、着色感光材に浸したワイヤーバーとローラーとの間に該基板を挿入し、該着色感光材を基板に転写して一様に塗工する塗工工程と、該アライメントマークを基準にしてマスクを基板に対して位置決めし、マスクを介して該着色感光材を露光し且つ現像して一色分のカラーパタンを形成するフォトリソグラフィ工程とを含み、該塗工工程及びフォトリソグラフィ工程を複数色分繰り返すことにより基板の中央領域にカラーフィルタを作成する方法であって、前記マーキング工程は、後の塗工工程で基板とワイヤーバーとの接触に起因するアライメントマークの破損を防止する為、アライメントマーク自体及び/又はアライメントマークの近傍に該ワイヤーバーからの応力を分散化可能なパタンの薄膜片を配置することを特徴とするカラーフィルタの作成方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505