特許
J-GLOBAL ID:200903033488754042

インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 稲元 富保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-254271
公開番号(公開出願番号):特開2000-085121
出願日: 1998年09月08日
公開日(公表日): 2000年03月28日
要約:
【要約】【課題】 流体抵抗部の形状、寸法の最適化が困難である。【解決手段】 吐出室45及び共通インク室47を結晶面方位(110)のシリコン基板61で形成し、このシリコン基板61上に<-110>方向の流体抵抗部46となる溝を異方性エッチングで形成した。
請求項(抜粋):
インク滴を吐出するノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室と、この吐出室に流体抵抗部を介して連通する共通インク室とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記吐出室又は共通インク室を結晶面方位(110)のシリコン基板で形成し、このシリコン基板上に<-110>方向の前記流体抵抗部となる溝を異方性エッチングで形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (10件):
2C057AF04 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP11 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15

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