特許

J-GLOBAL ID：200903033492463923

電子顕微鏡試料加熱装置

発明者： 浮穴 基英 ,  根本 昌弘 ,  小野瀬 正美
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-233324
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089685
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】電子顕微鏡用の試料加熱装置において、加熱炉周辺の温度上昇を抑え、高精度の観察を短時間で安定的に行なうことを目的とする。【構成】試料台6の中に断熱するようにヒーター7を保持し、試料9はヒーター7に直接載置してリング状の試料押え10で押えるように構成した。【効果】試料9の温度分布が均一になり、支持部材3の温度が試料9よりはるかに低くなり、かつ支持部材3の温度ドリフトが小さくなる。また、試料9は短時間で高温加熱され、短時間で安定し、高精度の観察を短時間に行なうことができる。

請求項（抜粋）：

試料台に加熱炉を内蔵して、試料を加熱する電子顕微鏡における試料加熱装置において、加熱炉は試料台と断熱するように構成して試料を加熱炉に直接載置するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡試料加熱装置。