特許
J-GLOBAL ID：200903033497682216
光導波路装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-083754
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281427
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 導波路を形成したガラス層の疲労を防止すること。【構成】 石英ウェハーからなる基板2上には、火炎堆積法によって形成した石英系ガラスからなる光導波路層4が設けられている。この光導波路層4は、コア部4a及びクラッド部4bからなる。光導波路層4の表面と基板2の側面とは、熱CVDによって形成した熱分解カーボンからなるカーボン膜6によって被覆されている。この光導波路装置は、金属製パッケージ内に接着剤で固定され、屋外その他の各種環境のもとで使用されることとなる。この場合、カーボン膜6として非常に緻密でガスを透過しにくい熱分解カーボンを用いているので、光導波路層4の表面に水蒸気が付着することを有効に防止することができ、さらにはクラックの進行を抑制することができる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した光導波路層と、当該光導波路層の表面を被覆するカーボンの薄膜層と、を備える平板型の光導波路装置。
IPC (2件)：
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