特許

J-GLOBAL ID：200903033501172996

表面追従型測定機

発明者： 山本 武 ,  赤池 武則
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-248421
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074616
出願日： 1998年09月02日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 表面粗さ測定が可能な測定力、応答性、分解能を維持しつつ、測定範囲を拡大することができる表面追従型測定機を提供する。【解決手段】 フレーム10と、このフレームに揺動可能に支持され、先端に触針15を有する測定子11と、この測定子にかかる測定力を調整可能な測定力調整手段21と、前記測定子の変位を検出する変位検出手段31と、前記測定子にかかる測定力を検出する測定力検出手段41と、この測定力検出手段で検出された測定力検出値と予め指令された測定力指令値とを比較し、測定力検出値が測定力指令値になるように前記測定力調整手段を制御する制御手段とを備える。

請求項（抜粋）：

被測定物に対して相対移動可能な本体と、この本体に変位可能に支持され、先端に触針を有する測定子と、この測定子にかかる測定力を調整可能な測定力調整手段と、前記測定子の変位を検出する変位検出手段と、前記測定子にかかる測定力を検出する測定力検出手段と、この測定力検出手段で検出された測定力検出値と予め指令された測定力指令値とを比較し、測定力検出値が測定力指令値になるように前記測定力調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする表面追従型測定機。

IPC (4件)：

G01B 7/34 102 ,  G01B 7/28 ,  G01B 21/20 ,  G01B 21/30 102

FI (4件)：

G01B 7/34 102 B ,  G01B 7/28 E ,  G01B 21/20 P ,  G01B 21/30 102

Fターム (29件)：

2F063AA41 ,  2F063AA43 ,  2F063CA10 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DB04 ,  2F063DC01 ,  2F063DD08 ,  2F063EB02 ,  2F063EB23 ,  2F063KA01 ,  2F063ZA01 ,  2F063ZA03 ,  2F069AA60 ,  2F069AA62 ,  2F069DD20 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG11 ,  2F069GG52 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ06 ,  2F069LL03 ,  2F069LL07 ,  2F069MM04 ,  2F069MM21 ,  2F069MM23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-230801
  
• 特開昭56-094205