特許

J-GLOBAL ID：200903033506911894

基板位置合せ装置

発明者： 安松 正博
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295375
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204322
出願日： 1991年11月12日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】円形基板の位置ぎめを行うための切りかきがついた円形基板を回転させ、一括して同じ方向に位置合せを行う。【構成】複数の基板1を収納したカセット6を載せるカセットステージ11を傾けるためのカセットステージ駆動シリンダー9と、基板1を回転させるためのローラー2及びローラー2を回転させるためのモーター3を有するローラー部を上下に動かすためのローラー部駆動シリンダー7と、カセット6内の基板1を一括して載せて移動できるとともに基板1の切りかきにはまり位置ぎめを行うための位置ぎめローラー4を有するアーム5をカセット6に出し入れするためのアーム駆動部8とを備えている。

請求項（抜粋）：

複数の基板を収納できるカセットを載せるカセットステージと、このカセットステージを傾けるためのカセットステージ駆動シリンダと、前記基板に接触し回転させるためのローラー及びこのローラーを回転させるためのモーターを有するローラー部を上下させるためのローラー部駆動シリンダと、基板を載せて移動できるとともに前記回転する基板の切りかきにはまり基板の位置ぎめを行うための位置ぎめローラーを有するアームを前記カセットに出し入れするアーム駆動部とを備えたことを特徴とする基板位置合せ装置。