特許
J-GLOBAL ID：200903033506937656
照明光学素子の検査装置、および照明光学素子の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-052106
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328205
出願日： 2002年02月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 照明光学素子を効率良く検品でき、かつ製造コストを抑えることができる照明光学素子の検査装置および照明光学素子の検査方法を提供すること【解決手段】レンズアレイの検査装置2は、平行な光束を射出する光源装置320と、この平行な光束を複数の部分光束に分割する検査対象としてのレンズアレイ113,115を保持するレンズアレイホルダ312,313と、これらのレンズアレイ113,115を介して射出された光束の光学像を投影するすりガラス170とを備え、このすりガラス170には、設計上の照明領域に応じた見切り枠が形成されている。従って、すりガラス170に投影された光学像が、見切り枠の範囲を含んでいるかどうかでレンズアレイ113,115の良否を判定できる。
請求項（抜粋）：
光源から照明光学素子を介して射出された光束を検出して、前記照明光学素子の光学特性を検査する照明光学素子の検査装置であって、検査対象としての照明光学素子を保持するホルダと、このホルダに保持された照明光学素子から射出された光束の光学像を投影する投影板を備え、この投影板には、前記照明光学素子の照明領域に応じた見切り枠が形成されていることを特徴とする照明光学素子の検査装置。
FI (2件)：
G02B 3/00 Z
, G02B 3/00 A
