特許
J-GLOBAL ID：200903033507593810

格子状配列構造の圧電/電歪アクチュエータ及びその製造方法

発明者：
佐藤 淳哉

佐藤 淳哉 について

, 
佐々木 康弘

佐々木 康弘 について


出願人/特許権者：
富士ゼロックス株式会社

富士ゼロックス株式会社 について


代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-252103
公開番号（公開出願番号）：特開2003-069103
出願日： 2001年08月22日
公開日（公表日）： 2003年03月07日
要約：
【要約】【課題】 マトリックス配列化された平板状アクチュエータへの高密度電気接合を可能とし、且つ、平板状アクチュエータの変位量を大きくし、且つ、電気接合部への高信頼性確保可能な電気接合を容易に精度良く行う。【解決手段】 平板状圧電/電歪アクチュエータ素子10の両主面にそれぞれ形成された共通電極11と信号電極12において、基板20と電気的に接続されている電気接合用パッド41が形成され、電気接合用パッド41上には導電性のコア材42、導電性の接合材43で構成される半球状のバンプ40がそれぞれ形成されているフレキシブルプリント配線基板30を互いに対向させ、加熱・加圧を行うことにより信号電極12(電気接合用エリア13)とバンプ40とが電気的に接続される。このとき、コア材42による間隙が存在し、信号電極12のアクチュエータエリア14は、完全に自由に動作する。
請求項（抜粋）：
基板上に配設された複数個の平板状の圧電/電歪アクチュエータ素子と、複数の信号ライン又は共通の導電層を有するフレキシブル配線基板とを備え、前記圧電/電歪アクチュエータ素子の表面側電極が、前記フレキシブル配線基板の対応する前記信号ライン又は前記導電層の所定の部位に電気的に接続されてなる格子状配列構造の圧電/電歪アクチュエータであって、各々の前記圧電/電歪アクチュエータ素子について、前記表面側電極と前記フレキシブル配線基板の対応する前記信号ライン又は前記導電層とが、1つのバンプを介して、かつ、所望の間隙を有する態様で、電気的に接続されてなることを特徴とする格子状配列構造の圧電/電歪アクチュエータ。
IPC (6件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 41/22
FI (5件)：
H01L 21/60 311 S ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (17件)：
2C057AF35 ,  2C057AF66 ,  2C057AG44 ,  2C057AG82 ,  2C057AG85 ,  2C057AG89 ,  2C057AG90 ,  2C057AQ03 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  5F044KK03 ,  5F044KK16 ,  5F044LL01 ,  5F044LL07 ,  5F044LL09 ,  5F044QQ06 ,  5F044RR01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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