特許
J-GLOBAL ID：200903033519865611
表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-300868
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132535
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】干渉計測技術を欠陥検査に応用し、欠陥の有無とともに欠陥の高さや深さを高精度でかつ迅速に検出する。【解決手段】投光部2はレ-ザ光源21から出射したレ-ザ光を2分割し、被検査面7と参照面8に一定の入射角で入射する。受光部3は被検査面7と参照面8で反射したレ-ザ光を合成しスクリ-ン33に干渉縞を形成する。像変換部4はスクリ-ン33に形成した干渉縞を光学的にフ-リエ変換し、光電変換素子44に光学的フ-リエ変換像を形成する。光電変換素子44に形成された光学的フ-リエ変換像を画像出力部5で表示部6に表示し、被検査面の欠陥の有無を明らかにする。
請求項（抜粋）：
投光部と受光部と像変換部及び画像出力部とを有し、投光部はコヒ-レント光源からの光を2分割して被検査面と参照面に入射し、受光部は被検査面と参照面からの反射光による干渉縞をスクリ-ンに形成させ、像変換部は形成した干渉縞による光学的フ-リエ変換像を形成して画像信号に変換し、画像出力部は画像信号に変換した光学的フ-リエ変換像を表示部に表示することを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/30
, G01B 11/24
, G01J 3/46
, G01N 21/88
G01B 11/30 A
, G01B 11/24 D
, G01J 3/46 Z
, G01N 21/88 J
