特許

J-GLOBAL ID：200903033525558003

ウエハ枚葉収納カセットの搬送装置及び搬送方法

発明者： 森吉 克巳
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-236803
公開番号（公開出願番号）：特開2000-068350
出願日： 1998年08月24日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 搬送経路においてウエハが周辺環境から汚染されず、汚染防止に必要なケミカルフリーなドライエア供給量も少なくて良く、かつ、クリーンルームを省スペース化できるウエハ枚葉収納カセットの磁気浮上搬送装置を得る。【解決手段】 被処理ウエハを縦置き枚葉収納したカセット24の処理装置1への磁気浮上搬送路であり密閉箱体からなる工程内搬送路18及び処理装置群用ストッカ20を上下に重ねてユーティリティゾーン21内に配置し、ケミカルエア生成機33、ドライコイル35、フィルタ37で生成されたケミカルフリーなドライエアを循環ファン36で工程内搬送路18及び処理装置群用ストッカ20等のウエハ搬送路内に供給し、搬送路内を陽圧状態に保つ。

請求項（抜粋）：

1枚のウエハを縦置き収納可能で外側に導電板を備えた複数のウエハ枚葉収納カセット、上記導電板に対応して配置されたリニアモータの浮上推進コイルを備え、上記浮上推進コイルに電圧を印加して上記ウエハ枚葉収納カセットを電磁気的に浮上させ収納ウエハの面に沿う方向に搬送する密閉搬送路であって、同種の処理を行う複数の処理装置のローダ/アンローダ部間を連通して形成され未処理/処理済みウエハを収納した上記ウエハ枚葉収納カセットが搬送される工程内搬送路、上記工程内搬送路が接続され、異なる工程間の未処理/処理済みウエハを収納した上記ウエハ枚葉収納カセットが搬送される工程間搬送路を備えたことを特徴とするウエハ枚葉収納カセットの搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 A ,  H01L 21/302 B

Fターム (12件)：

5F004BC06 ,  5F031BB01 ,  5F031BB05 ,  5F031CC07 ,  5F031CC60 ,  5F031GG02 ,  5F031GG19 ,  5F031KK06 ,  5F031LL01 ,  5F031LL07 ,  5F031LL10 ,  5F031MM05