特許

J-GLOBAL ID：200903033532737894

弾性表面波素子

発明者： 舩坂 司
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-263563
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076835
出願日： 2000年08月31日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 温度特性が良好で、高周波化に適した弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 回転角が37°回転Yカットから47°回転Yカットなる水晶基板と、前記水晶基板上に形成された薄膜と、前記薄膜に接するように形成されたくし歯電極とを備え、弾性表面波の伝搬方向を略90°X方向となるように前記くし歯電極が形成されている弾性表面波素子において、振動モードとして横波弾性表面波(STW)を用いたことを特徴とする弾性表面波素子であり、水晶基板10上へはZnO、AlN等の圧電薄膜及び例えばAl2O3などの酸化物系やSi3N4などの窒化物系の薄膜が形成されている。

請求項（抜粋）：

回転角が37°回転Yカットから45°回転Yカットなる水晶基板と、前記水晶基板上に形成された薄膜と、前記薄膜に接するように形成されたくし歯電極とを備え、弾性表面波の伝搬方向を略90°X方向となるように前記くし歯電極が形成されている弾性表面波素子において、振動モードとして横波弾性表面波を用いたことを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ,  H03H 9/145

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C

Fターム (11件)：

5J097AA13 ,  5J097AA21 ,  5J097DD28 ,  5J097DD29 ,  5J097FF02 ,  5J097GG02 ,  5J097GG07 ,  5J097HA03 ,  5J097KK05 ,  5J097KK07 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-025001   出願人：株式会社村田製作所
• 特開昭61-222312
  
• 特開昭59-135917