特許
J-GLOBAL ID：200903033535347787
金属酸化物半導体薄膜を用いた酸素分圧検出素子および該素子を備えた酸素分圧計ならびに真空装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
友松 英爾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154242
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333183
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 選択的に酸素を吸着し酸素濃度を計測することで、酸素の流入量ではなく、酸素分圧を実測する酸素分圧検出素子および該素子を備えた酸素分圧計ならびに真空装置の提供。【構成】 雰囲気中に存在する酸素分圧の変化に対して電気伝導度が変化する金属酸化物半導体薄膜を用いた酵素分圧検出素子および該素子を備えた酸素分圧計ならびに真空装置。
請求項（抜粋）：
雰囲気中に存在する酸素分圧の変化に対して電気伝導度が変化する金属酸化物半導体薄膜を用いた酵素分圧検出素子。
IPC (2件)：
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