特許
J-GLOBAL ID：200903033537417782
基板乾燥装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211461
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036660
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】被乾燥用基板の表裏面に向って乾燥用気体を噴射するノズルを具備する基板乾燥装置において、乾燥性能の向上を図ると共に、消費エネルギーの省力化及び装置の小型化を図る。【構成】垂直状態で搬送される基板1の表裏面に対向して配設される乾燥ノズル4を、乾燥用気体供給源に接続するノズル本体8と、スリット状の噴口9を有する噴頭10とで構成する。噴頭10を硬脆材料にて形成する。これにより、噴口9のスリット幅を狭小にすることができ、乾燥用気体の消費量を低減することができる。
請求項（抜粋）：
被乾燥用基板の表裏面に向って乾燥用気体を噴射する乾燥ノズルを具備する基板乾燥装置において、上記乾燥ノズルを、乾燥用気体供給源に接続するノズル本体と、スリット状の噴口を有する噴頭とで構成し、上記噴頭を硬脆材料にて形成してなることを特徴とする基板乾燥装置。
IPC (5件)：
H01L 21/304 341
, B05B 1/04
, B08B 11/04
, G02F 1/1333 500
, H05K 3/26
