特許
J-GLOBAL ID:200903033541875280

ジアミン化合物を含有する感光性樹脂組成物及びこれを塗布した感光性フィルム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 正林 真之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-363578
公開番号(公開出願番号):特開平10-207061
出願日: 1997年12月16日
公開日(公表日): 1998年08月07日
要約:
【要約】【課題】 密着力、現像性及び剥離性に優れていて高解像度の微細パターンを形成し得る感光性樹脂組成物及びこれを塗布した感光性フィルムを提供する。【解決手段】 下記の化学式で表されるジアミン化合物を含有する光開始剤、付加重合性化合物、及び熱可塑性高分子結合剤を含有する感光性樹脂組成物と、このような樹脂組成物を少なくとも一面の器材上に塗布及び乾燥して製造された感光性フィルム。【化1】エチレン、トリメチレン、及びヘキサメチレンからなる群の中から選択されたもので、 R1 は炭素数1〜4のアルキル基である。
請求項(抜粋):
光開始剤、付加重合性化合物及び熱可塑性高分子結合剤からなる感光性樹脂組成物において、前記光開始剤として、以下の化学式で示される群から選ばれる一種または二種以上のジアミン化合物を少なくとも含有していることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】メチレン基(-(CH2 )-)、及び炭素数2から8のポリメチレン基(-(CH2 )n -,n=2〜8)からなる群から選択されるもので、R1 は炭素数1〜4のアルキル基である。
IPC (5件):
G03F 7/029 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 511 ,  H01L 21/027
FI (5件):
G03F 7/029 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 511 ,  H01L 21/30 502 R
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平2-229802
  • 特開昭61-236538
  • 特開昭61-123603
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