プローブボード

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：徳若光政
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302380
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113451
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】組み立ての簡素化と安定で良好な信号伝達特性が得られるプローブボードを提供する。【構成】板状の誘電体の表面に重ね合わされて構成された板状導体を設けるとともに、上記誘電体の中にバネ性を持つ金属を主成分とする導体を埋設させるとともにその先端を突出されて接触電極を構成する。【効果】板状の誘電体とその表面に重ね合わされて構成された板状導体及び誘電体の中にバネ性を持つ金属を主成分とする導体により埋め込み式不平衡スラブライン又は埋め込み式不平衡型ストリップラインのような分布定数線路が得られるから、良好で安定した信号伝達特性を持つプローブを得ることができる。

請求項（抜粋）：

板状の誘電体と、上記誘電体の表面に重ね合わされて構成された板状導体と、上記誘電体の中に埋設されてなるバネ性を持つ金属を主成分とする導体であってその先端が突出されて接触電極を構成することを特徴とするプローブボード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/28 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-279650
特開平1-238133
特開平1-116452

前のページに戻る