X線用反射鏡

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143789
公開番号（公開出願番号）：特開平5-333199
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】光学的性能を損なわずに多層膜反射鏡の耐熱性を向上させる。【構成】基板3と、この基板3上に形成されたX線領域での屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質と大きい物質とが交互に積層された多層膜1と、多層膜1に接触して設けられた熱伝導性の高い物質からなる伝熱層2と、でX線用反射鏡10を構成した。そして、多層膜1の熱を伝熱層2に伝えることで多層膜1を冷却するようにした。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に形成されたX線領域での屈折率と真空の屈折率との差が小さい物質と大きい物質とが交互に積層された多層膜とからなるX線用反射鏡において、前記多層膜に熱伝導性の高い物質からなる伝熱層が接触していることを特徴とするX線用反射鏡。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-095399
特開昭63-095399

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