特許
J-GLOBAL ID：200903033557589075
孔あきの金属製品又は金属被覆製品を選択的に電気メッキする方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-007773
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074300
出願日： 1994年01月27日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 孔あき製品を選択的に電気メッキする方法及び装置において、精度の向上を図る。【構成】 該製品は、所望のメッキに従ってマスクされ、続いて、該製品を電気メッキするために電解液にさらされる。マスクのために、完全に閉じたフォトレジスト層が該製品に電気泳動的に塗布され、そのフォトレジスト層の乾燥後、該製品は、メッキされるべき場所に従ってフォトマスクでカバーされ、その後、露出が起こる。次いで、該フォトレジスト層が部分的に除去される一方、該フォトレジスト層の残りの部分は該製品上に残り、電気メッキ時に該金属製品のためのマスクとして働く。
請求項（抜粋）：
打ち抜き加工又はエッチングによって得られる孔あきの金属製品又は金属被覆製品を選択的に電気メッキする方法であって、完全に閉じたフォトレジスト層が該孔あき製品に電気泳動的に塗布され、該フォトレジスト層の乾燥後、該孔あき製品が所望の場所で少なくとも1のフォトマスクでカバーされ、続いて1又は複数のフォトマスクでカバーされた該製品の露光がなされ、その後、該フォトマスクの除去後に電気メッキされるべき該孔あき製品の各部分から、現像処理によって該フォトレジスト層が除去され、一方、該孔あき製品上の該フォトレジスト層の残っている部分が、該フォトレジスト層が除去された該孔あき製品の各部分を電気メッキする時点で該金属製品のためのマスクとして働く、という方法において、前記孔あき製品が、作動中にフォトレジスト浴槽を通して連続的に輸送される一方、前記製品が、少なくとも該浴槽に入ったときから前記浴槽から出るときまで、パワー源に接続されていることを特徴とする方法。
IPC (8件)：
H01L 23/50
, C23F 1/04
, C25D 7/12
, C25D 13/12
, C25D 13/22 303
, C25D 17/00
, C25D 17/08
, C25F 3/14
