特許

J-GLOBAL ID：200903033561840939

光熱ベンディング分光装置および分光法

発明者： 野々村 修一 ,  仁田 昌二
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000472
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197464
出願日： 1997年01月07日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】試料中の欠陥準位や不純物濃度および膜中の含有水素量や窒素量を測定できる光熱ベンディング分光装置を提供する。【解決手段】励起光源系A、信号検出系Bおよび制御系Cとを備えてなる光熱ベンディング分光装置であって、前記励起光源系Aは可視光領域から赤外領域までの波長領域の光源1と、該光源からの光を単色化された励起光とするモノクロメータ2と、前記励起光を一定周波数とする光チョッパー3とを有し、前記信号系は試料ホルダー6と試料のたわみ量を検出するたわみ量検出レーザー7と、前記レーザー光の位置変化を検出する位置敏感検出素子8と、前記レーザー光の変位に対応する信号成分を検出するロックインアンプとを有し、さらに、前記制御系はロックインアンプ9の出力信号からコンピュータを用いてデータの取り込みと蓄積を行うとともに、モノクロメータの波長送りおよび光フィルターの変更を行う機能を有していることを特徴とする光熱ベンディング分光装置。

請求項（抜粋）：

励起光源系A、信号検出系Bおよび制御系Cとを備えてなる光熱ベンディング分光装置であって、前記励起光源系Aは可視光領域から赤外領域までの波長領域の光源と、該光源からの光を単色化された励起光とするモノクロメータと、前記励起光を一定周波数とする光チョッパーとを有し、前記信号系は試料ホルダー6と試料のたわみ量を検出するたわみ量検出レーザー7と、前記レーザー光の位置変化を検出する位置敏感検出素子8と、前記レーザー光の変位に対応する信号成分を検出するロックインアンプとを有し、さらに、前記制御系はロックインアンプ9の出力信号からコンピュータを用いてデータの取り込みと蓄積を行うとともに、モノクロメータの波長送りおよび光フィルターの変更を行う機能を有していることを特徴とする光熱ベンディング分光装置

IPC (3件)：

G01N 25/16 ,  G01J 3/00 ,  G01N 21/35

FI (3件)：

G01N 25/16 C ,  G01J 3/00 ,  G01N 21/35 Z