特許
J-GLOBAL ID：200903033563639548
ウェハ保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087163
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302680
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 保持したウェハが熱処理などの際に汚染され難いウェハ保持装置を提供する。【構成】 ウェハの周縁部を位置決め・保持するためにホルダに設けられた溝の内面の全てを、微小凹凸およびマイクロクラックが存在しない平滑な面で形成して、その表面層に汚染物質が侵入・残留しないようにしている。これによりホルダ接触によるウェハ汚染がなくなる結果、所期の目的を達成できる。
請求項（抜粋）：
ウェハに熱処理等の処理を施す際に、そのウェハを保持する装置であって、ホルダ部に当該ウェハの周縁部を位置決め・保持するための溝が設けられた保持装置において、上記溝の内面の全てが、微小凹凸およびマイクロクラックの存在しない平滑な面で形成されていることを特徴とするウェハ保持装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65D 25/10
, B65D 85/57
, H01L 21/22
