特許

J-GLOBAL ID：200903033573325258

光スイッチ及びその組立方法

発明者： 佐藤 誠 ,  下川 房男 ,  西田 安秀 ,  牧原 光宏
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-231674
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073775
出願日： 1996年09月02日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 長期信頼性に優れ、且つ製造性の高い光スイッチ及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 光導波路基板内で基材1上に互いに交差する光導波路3の交差部に設けられた空隙4に、光導波路と屈折率が等しい屈折率整合液体10が封入され、該屈折率整合液体10を空隙4内で移動させることにより、互いのに交差する光導波路間で光路の切替を行う光スイッチにおいて、光導波路基板の基材1がシリコンであり、該基材1の上にガラス層を備え、表面に堆積したシリコン層16を備え、上記光導波路3の交差部に設けられた空隙4が該シリコン層16と陽極接合されたホウケイ酸低アルカリガラスにより蓋をされていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光導波路基板内で基材上に互いに交差する光導波路の交差部に設けられた空隙に、光導波路と屈折率が等しい屈折率整合液体が封入され、該屈折率整合液体を空隙内で移動させることにより、互いに交差する光導波路間で光路の切替を行う光スイッチにおいて、光導波路基板の基材がシリコンであり、該基材の上にガラス層を備え、表面に堆積したシリコン層を備え、上記光導波路の交差部に設けられた空隙が該シリコン層と陽極接合されたホウケイ酸低アルカリガラスにより蓋をされていることを特徴とする光スイッチ。