特許
J-GLOBAL ID：200903033594356056
エネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 喜多男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-326165
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154916
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 調整が容易で、低コストで、しかも、特性の劣化がないレーザ光による共振周波数調整方法を提供する。【解決手段】 圧電基板10の少なくとも一面側の共振電極11c,12cとその周囲の圧電基板10の部分を含む領域を周波数調整領域sとして、該領域にレーザ光を照射して前記共振電極11c,12cの一部及び圧電基10の一部に微小の孔を複数形成することにより、圧電振動子の共振周波数を調整するようにした。
請求項（抜粋）：
圧電基板の両面に共振電極を備えたエネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法であって、圧電基板の少なくとも一面側の共振電極とその周囲の圧電基板部分を含む領域を周波数調整領域として、該領域にレーザ光を照射して前記共振電極の一部及び圧電基板の一部に微小の孔を複数形成することを特徴とするエネルギー閉じ込め型圧電振動子の共振周波数調整方法。
IPC (3件)：
H03H 3/04
, H03H 9/02
, H03H 9/19
H03H 3/04 B
, H03H 9/02 M
, H03H 9/19 A
