特許
J-GLOBAL ID：200903033598758698
荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の操作方法、荷電粒子線装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
豊栖 康司
, 豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-255162
公開番号（公開出願番号）：特開2006-073345
出願日： 2004年09月02日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】すべての倍率の実画像を取得することなく、任意の倍率に変更可能な荷電粒子線装置等を提供する。【解決手段】荷電粒子線装置は、荷電粒子線撮像部で観察像を撮像する際に、観察条件設定部で設定された撮像時の倍率を基準とし、異なる複数の倍率にて離散倍率画像を撮像し保存するための離散倍率画像取得部と、観察像を表示するための表示部と、表示部で表示される観察像の表示倍率を調整するための倍率設定部と、倍率設定部で設定される表示倍率の観察像が保存されていない場合、同一の観察像について離散倍率画像取得部にて予め撮像された離散倍率画像に基づいて、倍率設定部で設定された倍率にて表示される補完観察像を演算により生成し、該補完観察像を表示するための補完処理部とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を観察対象に照射し、観察対象から得られる信号を検出して観察像を得るための荷電粒子線撮像部と、
前記荷電粒子線撮像部で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部と、
前記荷電粒子線撮像部で観察像を撮像する際に、前記観察条件設定部で設定された撮像時の倍率を基準とし、前記観察条件設定部で設定可能な倍率に対して離散的な異なる複数の倍率にて離散画像を撮像し保存するための離散倍率画像取得部と、
観察像を表示するための表示部と、
前記表示部で表示される観察像の表示倍率を調整するための倍率設定部と、
前記倍率設定部で設定される表示倍率の観察像が保存されていない場合、同一の観察像について前記離散倍率画像取得部にて予め撮像された離散倍率画像に基づいて、前記倍率設定部で設定された倍率にて表示される補完観察像を演算により生成し、該補完観察像を表示するための補完処理部と、
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01J37/22 502C
, H01J37/22 502A
, H01J37/22 502D
, H01L21/66 J
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA38
, 4M106DB05
