特許

J-GLOBAL ID：200903033603672179

シリカコーティング膜形成用塗布液

発明者： 吉田 祐司 ,  根津 秀明 ,  讃良 憲一
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357881
公開番号（公開出願番号）：特開平11-181352
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 300〜400°Cといった比較的低温条件下で焼成可能であり、耐クラック発生性、基板との密着性、微細な溝を埋める機能であるギャップファイリング性、膜の平坦性、塗布性に優れたシリカコーティング膜形成用塗布液を提供する。【解決手段】 下記(A)成分〜(C)成分を含有するシリカコーティング膜形成用塗布液。(A):(A-1)、(A-2)及び(A-3)をモル比1:(0.1〜5.0):(0.2〜5.0)で加水分解・縮合により得られ、Mwが1,000〜50,000であるシロキサン樹脂(A-1):Si(OR1)4で表されるテトラアルコキシシラン(A-2):R2(OR3)3で表されるアルキルトリアルコキシシラン(A-3):R4R5(OR6)2で表されるジアルキルジアルコキシシラン(R1〜R6は、C1〜4アルキル基)(B):白金錯体(C):有機溶剤

請求項（抜粋）：

下記(A)成分〜(C)成分を含有するシリカコーティング膜形成用塗布液。(A):下記の(A-1)、(A-2)及び(A-3)をモル比1:(0.1〜5.0):(0.2〜5.0)で加水分解・縮合重合反応することにより得られ、かつGPC法におけるポリスチレン換算の重量平均分子量が1,000〜50,000であるシロキサン樹脂(A-1):一般式Si(OR1)4で表されるテトラアルコキシシラン(A-2):一般式R2(OR3)3で表されるアルキルトリアルコキシシラン(A-3):一般式R4R5(OR6)2で表されるジアルキルジアルコキシシラン(各一般式中のR1〜R6は、独立に、炭素数1〜4のアルキル基を表す。)(B):白金錯体(C):有機溶剤