特許

J-GLOBAL ID：200903033608529900

ガスセンサおよび金属酸化物薄層表面状態制御方法。

発明者： 庄山 昌志
出願人/特許権者： 三重県
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-281837
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090324
出願日： 2000年09月18日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 センサ部分の薄膜化とその微細表面状態を制御することにより、成膜性に優れ、希薄ガスでも感度が向上する。【解決手段】 基板と、この基板上に形成された酸化スズを主成分とする酸化スズ膜とを備えてなり、該酸化スズ膜が、スズ化合物と、該スズ化合物に化学修飾できる有機高分子化合物とを少なくとも含む溶液より成膜した後、酸素含有雰囲気中で焼成して得られる。

請求項（抜粋）：

基板と、この基板上に形成された酸化スズを主成分とする酸化スズ膜とを備えてなるガスセンサであって、前記酸化スズ膜は、スズ化合物と、該スズ化合物に化学修飾できる有機高分子化合物とを少なくとも含む溶液より成膜した後、酸素含有雰囲気中で焼成して得られることを特徴とするガスセンサ。

IPC (3件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/333 ,  G01N 23/20

FI (4件)：

G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 B ,  G01N 23/20 ,  G01N 27/30 331 N

Fターム (22件)：

2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001GA14 ,  2G001KA08 ,  2G001LA20 ,  2G001MA05 ,  2G001NA13 ,  2G001NA20 ,  2G046AA11 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BE03 ,  2G046DB05 ,  2G046EA02 ,  2G046EB05 ,  2G046FA01 ,  2G046FB02 ,  2G046FE07 ,  2G046FE31 ,  2G046FE39

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ガス検出素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-087309   出願人：能美防災株式会社
• 特開平4-289446
  
• 特開昭63-083650