特許
J-GLOBAL ID：200903033614654695
ガスセンサ用の膜とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山口 巖 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370062
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166938
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 0°C以下の低温で充分な感度を有し、安全かつ高い信頼性と素子寿命を備えたガスセンサ用の膜とその製造方法を提供する。【解決手段】 水素又は含水素化合物ガスを解離吸着する触媒金属3と、触媒金属中で生成した水素原子により還元される固体化合物半導体4との混合層からなる膜34を有する素子と、還元による前記固体化合物半導体の光吸収の変化を検出する光学手段とを備えたガスセンサ用の膜であって、固体化合物半導体のゾルゲル溶液中に、触媒金属のジニトロジアンミン化合物の硝酸塩水溶液を混合し、分子レベルで均一に分散させたゾルゲル溶液を、基板に塗布焼成してなる膜とし、前記ゾルゲル溶液を、ガラス基板または光ファイバ用のコアに塗布して所定時間室温乾燥した後、250〜400°Cで所定時間焼成する。
請求項（抜粋）：
水素又は含水素化合物ガスを解離吸着する触媒金属と、該触媒金属中の前記解離吸着により生成した水素原子により還元されると共に該水素原子が存在しなくなった場合に還元される前の状態に戻る固体化合物半導体との混合層からなる膜を有する素子と、還元による前記固体化合物半導体の光吸収の変化を検出する光学手段とを備えたガスセンサ用の膜であって、前記固体化合物半導体のゾルゲル溶液中に、前記触媒金属のジニトロジアンミン化合物の硝酸塩水溶液を混合し、分子レベルで均一に分散させたゾルゲル溶液を、基板に塗布焼成してなる膜とすることを特徴とするガスセンサ用の膜。
IPC (5件)：
G01N 21/75
, C03C 17/22
, C03C 25/24
, G01N 21/59
, G01N 21/77
G01N 21/75 Z
, C03C 17/22 Z
, G01N 21/59 M
, G01N 21/77 A
, C03C 25/02 B
2G054AA01
, 2G054CA04
, 2G054EA04
, 2G054FA27
, 2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059CC02
, 2G059EE02
, 2G059GG00
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ13
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 4G059AA08
, 4G059AB11
, 4G059AC30
, 4G059DA03
, 4G059DA06
, 4G059DB05
, 4G059EA01
, 4G059EA04
, 4G060AC14
, 4G060AD26
, 4G060AD42
