特許
J-GLOBAL ID:200903033616091400

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 植木 久一 ,  小谷 悦司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-090428
公開番号(公開出願番号):特開2004-294999
出願日: 2003年03月28日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】露光時の感度とアルカリ現像性を両立させることができ、さらに、耐熱性に優れつつも脆さの発現しない硬化物を与える感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ現像可能な塗膜を形成し得る感光性樹脂組成物であって、N-置換マレイミド成分(A)と、酸無水物基含有ラジカル重合性単量体成分(B)と、(A)および(B)と共重合可能な1種以上のラジカル重合性単量体成分(C)とをラジカル重合させて得られた重合体(I)の有する酸無水物基の一部または全部に対し、光重合性二重結合とヒドロキシル基を有する化合物(D)を反応させて得られた変性重合体(II)が感光性樹脂成分として含まれている感光性樹脂組成物である。
請求項(抜粋):
アルカリ現像可能な塗膜を形成し得る感光性樹脂組成物であって、N-置換マレイミド成分(A)と、酸無水物基含有ラジカル重合性単量体成分(B)と、(A)および(B)と共重合可能な1種以上のラジカル重合性単量体成分(C)とをラジカル重合させて得られた重合体(I)の有する酸無水物基の一部または全部に対し、光重合性二重結合とヒドロキシル基を有する化合物(D)を反応させて得られた変性重合体(II)が感光性樹脂成分として含まれていることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (1件):
G03F7/038
FI (1件):
G03F7/038 501
Fターム (14件):
2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA18 ,  2H025CA23 ,  2H025FA17

前のページに戻る