オゾン水処理装置および洗浄処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-142101
公開番号（公開出願番号）：特開平10-328649
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】この発明はオゾン水からオゾンガスを効率よく脱気できるようにしたオゾン水処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】オゾン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置において、オゾン水が供給される処理タンク12と、この処理タンク内に設けられこの内部に供給されたオゾン水を蛇行させて流通させる蛇行状の流路を形成した仕切板13a、13bと、上記処理タンク内を蛇行するオゾン水に加圧気体を供給しそのオゾン水からオゾンガスを脱気させる気体供給管22と、脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排ガス管25と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出する排液管18とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

オゾン水からオゾンガスを脱気するためのオゾン水処理装置において、オゾン水が供給される処理タンクと、この処理タンク内に設けられこの内部に供給されたオゾン水を蛇行させて流通させる蛇行状の流路と、上記処理タンク内を蛇行するオゾン水に加圧気体を供給しそのオゾン水からオゾンガスを脱気させる気体供給手段と、脱気されたオゾンガスを上記処理タンクから排出する排気手段と、オゾンガスが脱気された液体を上記処理タンクから排出する排液手段とを具備したことを特徴とするオゾン水処理装置。

IPC (3件)：

C02F 1/20 , B08B 3/08 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

C02F 1/20 A , B08B 3/08 Z , H01L 21/304 341 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-247282
溶剤ばっ気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-007165 出願人：富士電気化学株式会社
地中浄化方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-325520 出願人：株式会社東芝

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