特許
J-GLOBAL ID：200903033625598851
レーザー気化分析方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159416
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072047
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 適切な条件で微粒子を採取し、レーザー気化分析の精度を向上させる。【構成】 搬送ガス、励起焔ガス等を充分に精製して汚染を防止しながら用いるとともに、母試料表面をその組成に変化を与えることなく清浄化し、更に選択採取率を規制することによって採取試料の試料代表性を高度に維持し、同時に検出器に応じた充分な試料を採取する。選択採取率と試料採取速度とは共に分析精度に影響し、これらを図1の境界線A,Bに挟まれた範囲内に維持することによって良い精度で分析値が得られる。選択採取率はレーザー光パルスの半値幅及びエネルギー密度に左右され、又採取量は同じく半値幅、エネルギー密度、周波数及び照射点の移動速度に左右されるので、これらをコントロールすることによって、偏拆成分や微量成分についても一層精度が向上する。【効果】 鋼中の偏拆成分や微量成分も相対標準偏差2%で分析可能となった。
請求項（抜粋）：
不活性な搬送ガス中で固体試料にレーザー光を照射してこの固体試料の一部を微粒子化して採取しこの微粒子を検出器に搬送して元素分析を行うレーザー気化分析方法において、不純物炭素含有量を1ppm 以下に精製した搬送ガスを流しながら、固体試料に次の(い)の条件の処理を行い、引続き次の(ろ)の条件で微粒子試料を採取することを特徴とするレーザー気化分析方法。(い)パルス半値幅0.001μsec 以上、パルスのエネルギー密度0.001GW以上及び発振周波数100Hz以上の条件で、微粒子試料採取予定面にレーザー光を掃引照射する予備処理。(ろ)微粒子試料の生成速度V(μg/sec )及び選択採取率Sとを次の(1),(2)及び(3)式の関係に維持する。但し、選択採取率Sは分析元素の微粒子中の濃度と母試料中の濃度との比である。【数1】【数2】【数3】
IPC (3件)：
G01N 1/02
, G01N 1/28
, G01N 21/31
