特許
J-GLOBAL ID：200903033626998543
ダイシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343014
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169720
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 ウエハを移動テーブルから取り外すことなくブレードの目立てを行うことができるダイシング装置を提供すること。【構成】 ウエハ10を搭載して所定の位置に移動させるための移動テーブル2と、移動テーブル2上に搭載されたウエハ10をストリートに沿って切断するためのブレード3と、ブレード3の目立てを行うための目立て手段とを備えたダイシング装置1で、目立て手段として、移動テーブル2と隣接して設けられこの移動テーブル2と連動する保持台21と、保持台21上に搭載される目立て用基板22とから構成するダイシング装置1でもある。
請求項（抜粋）：
ウエハに形成されたストリートに沿って該ウエハを切断するダイシング装置であって、前記ウエハを搭載して所定の位置に移動させるための移動テーブルと、前記移動テーブル上に搭載されたウエハを前記ストリートに沿って切断するためのブレードと、前記ブレードの目立てを行うための目立て手段とを備えていることを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
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