特許

J-GLOBAL ID：200903033636175324

光導波路の作成方法

発明者： 浦野 章 ,  金森 弘雄 ,  向後 隆司 ,  広瀬 智財 ,  斉藤 眞秀
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161809
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056038
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 焼結可能温度を低くし得るとともに、ガラス膜の表面劣化を抑えた光導波路を作製する方法を提供する。【構成】 本発明の光導波路の作製方法は、石英を主成分とするコア132とこれを囲むクラッド層122,142とを備える光導波路を、火炎堆積法によるガラス微粒子層の堆積とガラス微粒子層の透明化とによって形成する光導波路の作製方法であって、ガラス微粒子層140を硼素を含有させて堆積し、この堆積したガラス微粒子層140を火炎で焙ることにより、その表面の硼素の濃度を(例えば、ガラス膜142の表面の硼素の濃度が5wt%以下となる程度に)低下させた後に、ガラス微粒子層140の透明化をすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

石英を主成分とするコアとこれを囲むクラッド層とを備える光導波路を、火炎堆積法によるガラス微粒子層の堆積と該ガラス微粒子層の透明化とによって形成する光導波路の作製方法において、前記ガラス微粒子層を硼素を含有させて堆積し、この堆積した前記ガラス微粒子層を火炎で焙ることにより、その表面の硼素の濃度を低下させた後に、前記ガラス微粒子層の透明化をすることを特徴とする光導波路の作製方法。