特許

J-GLOBAL ID：200903033644559379

表面検査装置および方法

発明者： 小出 範幸 ,  小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056693
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252334
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 たとえば半導体ウエハのような被検物体の表面の様々な欠陥を簡素な構成に基づく目視検査により確実に検出する。【解決手段】 被検物体(1)の表面に照明光を照射して該表面を目視で検査する表面検査装置である。この装置は、被検物体(1)を保持する保持手段(3)と、照明光が照射された被検物体(1)の表面を検査する際の背景の明るさを切り換える背景切り換え手段(5、6、8)とを備えている。

請求項（抜粋）：

被検物体の表面に照明光を照射して該表面を目視で検査する表面検査装置において、前記被検物体を保持する保持手段と、前記照明光が照射された前記被検物体の表面を検査する際の背景の明るさを切り換える背景切り換え手段とを備えていることを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

H01L 21/66 J ,  G01N 21/84 D ,  G01N 21/88 645 A

Fターム (20件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC22 ,  2G051BB17 ,  2G051BB19 ,  2G051BB20 ,  2G051CA11 ,  2G051DA01 ,  2G051DA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106BA10 ,  4M106CA38 ,  4M106CA45 ,  4M106CA46 ,  4M106CA47 ,  4M106CA48 ,  4M106DH01 ,  4M106DH31