特許

J-GLOBAL ID：200903033656816180

薄膜コイルの製造方法

発明者： 入江 寛治
出願人/特許権者： 大同特殊鋼株式会社
代理人 (1件)： 佐竹 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126948
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311912
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】 絶縁物として無機酸化物を用いた、経年変化による変形を生じ難い薄膜コイルであって、特に無機酸化物を用いても、線材相互間にボイドを生ずることなく埋めることが出来、線材において最も重要な上部位置の機械的強度を高く、しかも電気的特性が良好になる薄膜コイルの製造方法を提供する。【構成】 絶縁層上の、線材の断面形状が矩形のコイルの上面に対し、コイルにおける線材相互の空間が途中まで埋まる程度の量のレジストを塗布する工程と、コイルにおける線材相互間の残された空間を、無機酸化物により覆う工程とを有する。

請求項（抜粋）：

絶縁層の上に形成された、線材の断面形状が矩形となっているコイルの上面に対し、コイルにおける線材相互の空間が途中まで埋まる程度の量のレジストを塗布する工程と、コイル上面に被せられたレジストを平坦化してコイル間を埋める工程と、コイルにおける線材相互間の残された空間を、無機酸化物により覆う工程とを有することを特徴とする薄膜コイルの製造方法。