特許
J-GLOBAL ID：200903033657650049
ウエハの収納容器及びウエハの整列装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271236
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204318
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 複数のウエハを水平状態になるよう収納する容器を提供すること、並びに容器内のウエハの収納状態を揃える整列装置を提供することである。【構成】 ウエハの収納容器は2つの端壁と2つの側壁を有し、主開口と副開口が形成される。容器にはウエハを一枚づつ支持する複数のスロットが形成され、各スロットは両側壁の内面に内側に向けて拡開する断面V字形の1対の溝を具備する。各溝に係る一方の面は、端壁における基準面が水平面上に位置するように配置された状態で、各ウエハを実質的に水平状態に支持する保持面として機能する。保持面には、副開口に向かって収束する収束部にウエハの側部に当接する充填体が配設され、またはかさ上げ体が配置される。また、溝の保持面及びこれと対向する壁面の角度が設定される。ウエハの整列装置においては、容器に収納されたウエハのエッジを押してその位置を揃える機構が設けられる。
請求項（抜粋）：
実質的に円形の複数のウエハを収容するためのウエハの収納容器であって、対向して配置された、基準面が形成された第1端壁及び第2端壁と、対向して配置され且つ前記第1端壁及び第2端壁を連結する第1側壁及び第2側壁と、前記第1端壁及び第2端壁並びに第1側壁及び第2側壁により規定される、ウエハを当該容器内に対して挿脱するための開口として機能する第1開口と、前記第1端壁及び第2端壁並びに第1側壁及び第2側壁により規定される、前記第1開口と対向して配置され且つ前記第1開口よりも寸法的に小さい第2開口と、当該容器内に間隔をおいて前記ウエハを一枚づつ支持する複数のスロットと、を有して成り、前記スロットは、前記第1側壁及び第2側壁の内面に形成され且つ当該容器の内側に向かって次第に拡開するよう開口する断面V字形の一対の溝を具備し、各溝を規定する一方の面は、前記基準面が水平面上に位置するように当該容器が配置された状態において、各ウエハが実質的に水平状態に載置される保持面として機能し、且つ当該保持面は前記第2開口の中心に向かって収束する収束部を具備し、各スロットに収納される各ウエハのエッジに当接する当接面が各保持面の各収束部上に配置され、当該当接面が各ウエハの位置を規制して各ウエハが各保持面の同じ高さの部分に載置されることを特徴とするウエハの収納容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/38
