特許
J-GLOBAL ID:200903033660773798

薄型ワークの搬送用ロボット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-158533
公開番号(公開出願番号):特開平10-006258
出願日: 1996年06月19日
公開日(公表日): 1998年01月13日
要約:
【要約】【課題】 粉塵の発生を極めて少なくし、直進性の優れたワークの搬送用ロボットを提供すること。【解決手段】 ロボットMは、機枠21の上部に配設される固定リンク25と、固定リンク25に連結される第1主アーム23と、第1副アーム24と、第1主アーム23と第1副アーム24を先端側で連結する第1可動リンク26と、を有して第1平行4節リンク機構を備えるとともに、第1可動リンク26と、第1可動リンク26に連結される第2主アーム43と、第2副アーム44と、第2主アーム43と第2副アーム44の先端側で連結する第2可動リンク47と、を備えて第2平行4節リンク機構とを、備えて構成されている。第1主アーム23には駆動軸27が連結され、駆動モータによって駆動される。第1可動リンク26には駆動手段が配設され第1主アーム23の駆動を第2主アーム43に伝達する。第2可動リンク47には、ワークWを吸着保持するハンド53が取り付けられ、第1主アーム23の回転により、ワークWを直線的に移動する。
請求項(抜粋):
ワークを直線的に搬送するロボットであって、機枠に回動可能に支持される第1主アームと、前記第1主アームと略同一長さで前記第1主アームと平行に配設されるとともに、前記機枠に回転可能に支持される第1副アームと、前記第1主アームと前記第1副アームの先端で、前記第1主アームと前記第1副アームとを連結する第1リンク部材と、を備えて第1平行4節リンク機構が構成され、前記第1リンク部材に回転可能に支持され、略同一長さに形成される第2主アーム、第2副アームと、前記第2主アームと前記第2副アームとの先端部で、前記第2主アームと前記第2副アームとを連結する第2リンク部材と、を備えて第2平行4節リンク機構が構成され、前記機枠内に配置され前記第1主アームを駆動する第1駆動手段と、前記第1リンク部材内に配置され前記第2主アームまたは前記第2副アームを駆動する第2駆動手段と、を有するとともに、前記第2リンク部材にワークを保持するハンドが配設され、前記第1駆動手段により前記ハンドが直線的に移動できるように構成されることを特徴とする薄型ワークの搬送用ロボット。
IPC (3件):
B25J 9/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68
FI (3件):
B25J 9/06 A ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/68 A

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