特許
J-GLOBAL ID：200903033666209177
基板バックアップ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243675
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074500
出願日： 1993年09月03日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 多様な基板に対応でき、基板の種類に応じて着脱する着脱式バックアップ部の取り扱いが容易で、着脱操作が簡単かつ短時間に実行できる基板バックアップ装置を得る。【構成】 昇降自在なバックアップ用ベース30と、バックアップピン取付穴を有していて前記ベースに固定された固定バックアップ部50と、バックアップピン取付穴を有していて前記固定バックアップ部側に磁気吸着される着脱式バックアップ部54とを備えており、固定バックアップ部50に対し1個乃至複数個の着脱式バックアップ部54を連結することで、多様な大きさの基板に対応する構成となっている。
請求項（抜粋）：
昇降自在なバックアップ用ベースと、バックアップピン取付穴を有していて前記ベースに固定された固定バックアップ部と、バックアップピン取付穴を有していて前記固定バックアップ部側に磁気吸着される着脱式バックアップ部とを備えることを特徴とする基板バックアップ装置。
IPC (3件)：
H05K 13/04
, B23K 3/00 310
, B23P 19/00 302
