特許

J-GLOBAL ID：200903033671080220

空気清浄フィルタユニット

発明者： 和田 理 ,  衣川 勝 ,  河瀬 和雅 ,  黒川 博志
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027260
公開番号（公開出願番号）：特開平11-221414
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】 空気清浄用のフィルタユニットに関し、特に、半導体製造プロセスで要求されるような極めて低い濃度レベルまで化学汚染物質と粉塵の両方を低減でき、しかも、寿命の極めて高いフィルタユニットを提供する。【解決手段】 空気清浄フィルタユニットは、カーボンナノチューブから成る吸着層と集塵用濾紙エアフィルタとを同一フィルタケース内に保持して形成され、カーボンナノチューブと濾紙エアフィルタの両方に、空気を通過させることにより、それぞれ該空気中の化学ガス汚染成分と粉塵とを除去する機能を有するものである。

請求項（抜粋）：

吸着層と、集塵用の濾紙エアフィルタと、から成り、該吸着層が、カーボンナノチューブを含み、該吸着層と濾紙エアフィルタとに、空気を通過させることにより、それぞれ該空気中の化学ガス汚染成分と粉塵とを除去することを特徴とする空気清浄フィルタユニット。

IPC (4件)：

B01D 46/00 ,  B01D 53/02 ,  B01D 53/04 ,  B01J 20/20

FI (4件)：

B01D 46/00 Z ,  B01D 53/02 Z ,  B01D 53/04 A ,  B01J 20/20 B