特許

J-GLOBAL ID：200903033672931607

磁気メモリ装置およびその製造方法

発明者： 平井 匡彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-272187
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086773
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】 消費電力を低く抑えつつ、磁気メモリ装置の信頼性を向上させる。【解決手段】 第2の層間絶縁膜11の一部を除去して配線溝を形成し、この配線溝内に書き込み線である第2のメタル配線19を形成する。第2の層間絶縁膜11および第2のメタル配線19の上面を研磨して平坦化し、第2の層間絶縁膜11および第2のメタル配線19の上に、アルミナを含む材料を堆積して200nm以下の厚さの第3の層間絶縁膜12を形成する。そして、第3間層間絶縁膜12上にTMR素子18を形成し、これを部分的にエッチングする。TMR素子18の下磁性層15と第2のメタル配線19の間の間隔は、200nm以下である。

請求項（抜粋）：

主に膜面垂直方向に磁化する第1の磁性層および第2の磁性層と、前記第1の磁性層と第2の磁性層との間に位置する非磁性層とからなる磁気抵抗効果素子と、該磁気抵抗素子の下方に位置して磁界を印加するための電流が流される書き込み線とを有する不揮発性の磁気メモリ装置において、前記書き込み線の上面が位置する層と、前記磁気抵抗素子の下面が位置する層との間に介在する絶縁膜が、200nm以下の厚さであることを特徴とする磁気メモリ装置。

IPC (6件)：

H01L 27/105 ,  G11C 11/14 ,  G11C 11/15 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 29/43 ,  H01L 43/08

FI (6件)：

G11C 11/14 A ,  G11C 11/15 ,  H01L 43/08 Z ,  H01L 27/10 447 ,  H01L 21/88 A ,  H01L 29/46 R

Fターム (118件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB03 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD19 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104DD91 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE16 ,  4M104FF14 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG16 ,  4M104GG19 ,  4M104HH12 ,  5F033HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH09 ,  5F033HH10 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH18 ,  5F033HH21 ,  5F033HH23 ,  5F033HH27 ,  5F033HH30 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ12 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ23 ,  5F033JJ27 ,  5F033JJ30 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033KK03 ,  5F033KK09 ,  5F033KK18 ,  5F033KK25 ,  5F033LL01 ,  5F033MM01 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN38 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ13 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ76 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR11 ,  5F033RR13 ,  5F033RR14 ,  5F033RR15 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033RR25 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS21 ,  5F033SS27 ,  5F033TT02 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV16 ,  5F033WW02 ,  5F033XX01 ,  5F083FZ10 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA56 ,  5F083JA57 ,  5F083MA06 ,  5F083MA19 ,  5F083PR40