特許
J-GLOBAL ID：200903033687896930
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117093
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331560
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】異物検査に要する時間を短縮することが可能な異物検査装置を提供することにある。【構成】レ-ザ光18を半導体ウエハ16に照射し半導体ウエハ16に存在する異物からの散乱光を検出する異物検査装置1において、レ-ザ光18を半導体ウエハ16の所定領域に一括に照射する。
請求項（抜粋）：
レ-ザ光を検査対象物に照射し上記検査対象物に存在する異物からの散乱光を検出する異物検査装置において、上記レ-ザ光はパルスレ-ザ光であり且つこのパルスレ-ザ光を上記検査対象物の所定領域に一括に照射することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
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