特許
J-GLOBAL ID：200903033697594567
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-089606
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271049
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】触針式プローブの破損を防止するとともに被測定物を傷つけることや測定精度の悪化を軽減する。【解決手段】披測定面9の形状を測定するとき、触針式プローブ1の触針子3と被測定面9との接触状態が失敗して触針子9が強く押し上げられても、触針子3に取り付けた変位測定部材31は変位計8から離れる方向に移動して変位計8が破損することを防ぐ。
請求項（抜粋）：
軸方向にのみ移動できるようにハウジングに取り付けられた触針子と、触針子の軸方向の動きを抑制する触針子抑制手段と、触針子の軸方向の移動量を検出する変位検出手段を有する触針式プローブと、触針式プローブの変位検出手段の出力が目標値と等しくなるように被測定面と触針子間の相対距離を制御する位置制御手段とを有する形状測定装置であって、上記触針子を被測定面と接触させたときに、接触子の変位測定面が変位検出手段から離れるように変位検出手段を配置したことを特徴とする形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 21/20 P
, G01B 7/28 E
