特許
J-GLOBAL ID:200903033701150490
X線回折装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 寿武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-326883
公開番号(公開出願番号):特開2000-146872
出願日: 1998年11月17日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】 X線管から発生する連続X線を利用することにより、任意波長の入射X線を試料に照射して各種のX線回折測定を容易に実施可能とする。【解決手段】 X線管7から放射された連続X線をキャピラリ束1によって平行X線ビームとして取り出し、モノクロメータ8の働きによってその平行X線ビームから特定波長(すなわち、特定エネルギ)のX線を取り出し試料Sに照射する。そして、試料Sで発生した回折X線をソーラースリット9で収束しX線検出器10で受光する。
請求項(抜粋):
試料に入射角θでX線を入射したとき試料から回折してくる回折X線を検出して試料の物理的特性等を測定するX線回折装置において、X線を放射するX線源と、放射されたX線を平行X線ビームとして取り出すためのキャピラリ束と、その平行X線ビームを受け取って特定波長の平行X線ビームを選択して出射する波長選択手段と、前記特定波長の平行X線ビームを試料に所定角度で入射したとき該試料から回折してくる回折X線を収束するためのX線収束手段と、前記収束された回折X線の強度を検出するX線検出器とを備えたことを特徴とするX線回折装置。
IPC (3件):
G01N 23/207
, G01L 1/00
, G21K 1/06
FI (3件):
G01N 23/207
, G01L 1/00 A
, G21K 1/06 G
Fターム (13件):
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001EA01
, 2G001EA02
, 2G001EA09
, 2G001EA20
, 2G001GA01
, 2G001GA13
, 2G001KA07
, 2G001SA01
, 2G001SA02
, 2G001SA30
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