特許
J-GLOBAL ID：200903033705077739
板状物の保持治具
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271352
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106409
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 小形で不定形の半導体基板を取り扱う際に、ピンセットの直接接触による不良発生を回避でき、複数枚の一括処理を可能にする。【構成】 保持治具1は弗素樹脂で略正方形形状の板形状に形成された本体2を備えており、本体2には小形で矩形形状の半導体基板50を収容する切欠部3が上面の中央部から下方に向けて縦長の矩形形状に形成されている。切欠部3の幅は半導体基板50よりも若干小さい寸法に形成され、切欠部3の両側壁には半導体基板50の両縁部を保持する凹溝4が上方から見てV字形状に切欠部3の上から下まで連続して形成されている。切欠部3の底壁5には半導体基板50の底面を二点支持する一対の突起6が間隔をおいて上方に突設されている。【効果】 保持治具をピンセットで保持して半導体基板を扱える。保持治具は複数を収容治具に収容して、一括扱いできる。
請求項（抜粋）：
本体が板形状に形成されており、この本体には切欠部が被保持物としての板状物の外形に対応する形状に形成されているとともに、この切欠部には配置された板状物の外周縁部を保持する保持部が形成されていることを特徴とする板状物の保持治具。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 341
