特許
J-GLOBAL ID：200903033711628569
マイクロ波によるプラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加古 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356624
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164198
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：
【要約】【課題】マイクロ波によるプラズマ発生において、インピーダンス整合の検出を精度よく行い、これにより、入力するプラズマ生成用マイクロ波の制御を行うこと。【解決手段】本発明は、整合測定のための検出として、プラズマ生成用マイクロ波とその反射波に対するモノダイン干渉を用いている。モノダイン干渉により得られる干渉波を解析することで、入射波と反射波との位相差や反射波の振幅を得ることができ、これにより励起マイクロ波の発生・制御系を制御することで、励起マイクロ波とプラズマとのインピーダンス整合を行うことができる。この方法は、特に精度良く位相検出を行うことができ、位相の変化からプラズマの特性を算出するものであり、整合域近傍でもノイズとの区別が可能である。
請求項（抜粋）：
マイクロ波と、前記マイクロ波により発生するプラズマとのインピーダンス整合の制御を行っているプラズマ発生装置において、マイクロ波発生部と前記マイクロ波発生部からのマイクロ波のインピーダンスを変化させるインピーダンス調整部と、インピーダンスを調整された前記マイクロ波を受けてプラズマを発生させるプラズマ発生部と、前記マイクロ波発生部からのマイクロ波と、前記プラズマで反射したマイクロ波とのモノダイン干渉による干渉波を得るモノダイン干渉部と、モノダイン干渉部からの信号を処理して、整合制御信号を得る制御部とを備え、前記制御部からの整合制御信号を前記インピーダンス調整部に印加して、インピーダンスを調整することにより、マイクロ波とプラズマとのインピーダンス整合をとることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/00
, H05H 1/46
, H01L 21/205
H05H 1/00 A
, H05H 1/46 B
, H05H 1/46 R
, H01L 21/205
