特許
J-GLOBAL ID：200903033713492192
ダイシング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143630
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315444
出願日： 1992年05月11日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 カセットが装着される部分が側方に出っ張らないようにし、コンパクトでスマートな1カセットタイプのダイシング装置を提供する。【構成】 ウェーハの収納されるカセットが装着される1つのカセット領域と、カセット内のウェーハが第1の搬送手段で搬送される待機領域と、この待機領域にあるウェーハが第2の搬送手段で搬送されるチャック領域と、ダイシング後戻されたウェーハがチャック領域から第3の搬送手段で搬送される洗浄領域とが、装置上面において四角形の頂点となる位置にそれぞれ配設する。ダイシング装置の側方に出っ張る部分がなくなるので、コンパクトでスマートなものとなる。
請求項（抜粋）：
ウェーハが収納されるカセットが装着される1つのカセット領域と、前記カセット内から又はカセット内にウェーハを搬出入する第1の搬送手段と、この第1の搬送手段によって搬送された、又は搬送されるウェーハが一時的に待機する待機領域と、この待機領域にあるウェーハをチャック領域まで搬送する第2の搬送手段と、前記チャック領域でウェーハを吸引保持し、アライメント領域、ダイシング領域まで相対的に移動するチャックテーブルと、ダイシング後のウェーハをチャック領域から洗浄領域まで搬送する第3の搬送手段と、前記洗浄領域においてスピン洗浄されたウェーハを前記待機領域まで搬送する第4の搬送手段とから構成されるダイシング装置であって、このダイシング装置は、少なくとも前記カセット領域と、待機領域と、チャック領域と、洗浄領域とがそれぞれ四角形の頂点となる位置に配設されていることを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
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