特許
J-GLOBAL ID：200903033716998240
固体撮像素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029931
公開番号（公開出願番号）：特開平10-229180
出願日： 1997年02月14日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：
【要約】【課題】 瞳補正の短い光学系に対応させるためにチップの周辺部で瞳補正量を大きく取っても、遮光膜やパッシベーション膜などによって入射光の一部が遮られて、感度の低下、シェーディングなどの感度ムラの発生を来していた。【解決手段】 マイクロレンズを備えた固体撮像素子1であって、マイクロレンズは、受光部開口17の光(入射光L)の入射側に第1マイクロレンズ22と、さらに入射側に設けた第2マイクロレンズ24とからなり、第1,第2マイクロレンズ22,24は、チップの周辺部1aに向かうにしたがって、第2マイクロレンズ24への入射光Lが第1マイクロレンズ22を通して受光部開口17に入射するように、第1マイクロレンズ22の中心軸X1および第2マイクロレンズ24の中心軸X2を受光部開口17の中心Cよりそれぞれにずらして設けたものである。
請求項（抜粋）：
受光部開口の上方にマイクロレンズを備えた固体撮像素子において、前記マイクロレンズは、前記受光部開口より光の入射側に設けた第1マイクロレンズと、前記受光部開口および前記第1マイクロレンズより光の入射側に設けた第2マイクロレンズとからなり、前記第1マイクロレンズおよび前記第2マイクロレンズは、該固体撮像素子の周辺部に向かうにしたがって、該第2マイクロレンズへ入射する光が該第1マイクロレンズを通して前記受光部開口内に入射するように、前記第1マイクロレンズの中心軸および前記第2マイクロレンズの中心軸を前記受光部開口の中心よりそれぞれずらして設けられていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
