特許

J-GLOBAL ID：200903033717689527

試料帯電除去装置

発明者： 佐藤 孝雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-343806
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173525
出願日： 1998年12月03日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】荷電粒子を利用する試料の観察、分析及び加工において、該試料の帯電現象に起因する観察/分析/加工上の支障を排し、高感度・高分解能・高精密な前記作業を可能にする。【解決手段】端子を遠隔操作により観察/分析/加工領域近傍の任意の位置に接触させ、観察/分析/加工の過程で生じる電荷をアース線を通して逃がす。

請求項（抜粋）：

荷電粒子、紫外線もしくはX線を利用した試料の観察、分析もしくは加工において、前記試料が観察、分析もしくは加工が行われるチャンバ内に設置され、且つ試料を観察、分析もしくは加工する位置を決定した後、前記位置を中心にして、前記位置の少なくとも180度以上の周囲を囲む構造を有するアースされた導電性物質を、遠隔操作にて接触させることを特徴とする試料帯電除去装置。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  G01N 23/22

FI (2件)：

H01J 37/20 H ,  G01N 23/22

Fターム (24件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA11 ,  2G001GA12 ,  2G001JA07 ,  2G001JA12 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001LA02 ,  2G001MA05 ,  2G001NA11 ,  2G001NA17 ,  2G001QA01 ,  2G001RA08 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001CC05