特許

J-GLOBAL ID：200903033726890057

基板押上げピンの着脱構造

発明者： 岡山 智彦
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-287457
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124999
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】半導体製造装置の処理室に於ける基板押上げピンの着脱作業に於いて、支持ニードルを損傷することなく、又作業が簡単で短時間に交換が可能な基板押上げピンの着脱構造を提供するものである。【構成】半導体製造装置の処理室内部の昇降可能なピンベース4に立設され、サセプタ2、電極3等を貫通して上方に突出可能な基板押上げピン15の着脱構造に於いて、前記ピンベースに嵌合孔10を穿設し、該嵌合孔に下面より遊合するフローティングナット20を設け、前記基板押上げピンの下端部に前記嵌合孔に嵌合する軸部17を形成すると共に、該軸部より延出し前記フローティングナットに螺合する雄螺子18を設け、更に基板押上げピンに工具と係合する係合部を形成し、基板押上げピンを工具により上方から回転可能とし、基板押上げピンの着脱は、基板押上げピンを直接回転させることで行い、基板押上げピンを上方より回転させる工具を用いることで、電極等を取外すことなく基板押上げピンの着脱が行える。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置の処理室内部の昇降可能なピンベースに立設され、サセプタ、電極等を貫通して上方に突出可能な基板押上げピンの着脱構造に於いて、前記ピンベースに嵌合孔を穿設し、該嵌合孔に下面より遊合するフローティングナットを設け、前記基板押上げピンの下端部に前記嵌合孔に嵌合する軸部を形成すると共に、該軸部より延出し前記フローティングナットに螺合する雄螺子を設けたことを特徴とする基板押上げピンの着脱構造。