特許
J-GLOBAL ID:200903033740659716

セラミック製造方法およびセラミック製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 柳田 征史 ,  佐久間 剛 ,  我妻 慶一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-281558
公開番号(公開出願番号):特開2009-108369
出願日: 2007年10月30日
公開日(公表日): 2009年05月21日
要約:
【課題】複雑な形状のセラミックの成形が可能で、環境負荷物質である有機バインダーの使用を低減したセラミック製造方法およびセラミック製造装置の提供を図る。【解決手段】基板3上に、所望の形状のマスク2を配置し、基板3と所望の形状のマスク2と基板3の間に隙間を形成し、原料粉4をキャリアガス5により分散してなるエアロゾル15を基板3上に噴射する。噴射されたエアロゾル15を基板3とマスク2の隙間の間に流入せしめることにより、エアロゾル15内の原料粉4を基板3とマスク2の隙間の間に堆積させることで、マスク2と同じ形状の成形体17を形成する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基板上に、所望の形状のマスクを配置し、 前記基板と前記所望の形状のマスクと基板の間に隙間を形成し、 原料粉をキャリアガスにより分散してなるエアロゾルを前記基板上に噴射し、 該噴射されたエアロゾルを基板とマスクの隙間の間に流入せしめることにより、前記エアロゾル内の原料粉を基板とマスクの隙間の間に堆積させることで、マスクと同じ形状の成形体を形成することを特徴とするセラミック製造方法。
IPC (1件):
C23C 24/04
FI (1件):
C23C24/04
Fターム (10件):
4K044AA13 ,  4K044BA12 ,  4K044BA21 ,  4K044BB10 ,  4K044BC14 ,  4K044CA23 ,  4K044CA24 ,  4K044CA27 ,  4K044CA62 ,  4K044CA71
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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