分別装置エゼクター用圧電気ダイヤフラム弁

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林宏 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-518436
公開番号（公開出願番号）：特表平10-510040
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】粒子選別装置中に設置される空気圧エゼクタでの使用に適した、圧力気体源からの圧力気体を制御するためのバルブ装置が開示されている。これは、チェンバー(61、63)から出力口(52)にかけて設置されたダイヤフラム(42)を使用するものであり、チェンバーは実質的に圧縮ガス又は空気源と連通している。ダイヤフラムの両端はチャンバ内の圧縮ガス又は空気にさらされている。この理由のため、そしてグイヤフラム自体が出力口と接触してそれを閉じるようになっているために、入力圧がかかると、差圧が生じてダイヤフラムを弾性変形させ出力口を閉じるようになっている。ダイヤフラムは圧電素子(44)を有し、このバルブ装置は選択的に圧電素子を活動させそしてバルブ部材を出力口から後退させて圧縮ガス又は気体を中に導く電気回路(56、58)を含む。

請求項（抜粋）：

圧力チェンバーを区画するハウジングと;圧電素子を備えて上記ハウジングに取り付けられたダイヤフラムと;加圧気体源に接続されてダイヤフラムの両側のチェンバーと連通する入力口と;ダイヤフラムの片側に位置する出力口とを有し、上記ダイヤフラムの一部区域が出力口に対向していて、該区域に作用する気体の差圧により該ダイヤフラムが弾性変形して上記区域が出力口を閉鎖するよう調整され、ダイヤフラムの上記部分を出力口から後退させて気体を圧力チェンバーから出力口に導くように圧電素子を動作させるための、選択的に制御可能な電気回路を持ち、ダイヤフラムの閉鎖状態において上記差圧と該ダイヤフラムの弾性力とをバランスさせることにより、該ダイヤフラムと出力口外周との接触圧を略ゼロに設定してあることを特徴とする加圧源からの気体の排出を制御するバルブ装置。

IPC (4件)：

F16K 7/12 , F16K 7/14 , F16K 11/02 , F16K 31/02

FI (4件)：

F16K 7/12 Z , F16K 7/14 A , F16K 11/02 A , F16K 31/02 A

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