特許
J-GLOBAL ID：200903033752852163
放電装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-186960
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013149
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 従来より低い電圧で作動できる露出電極材料を使用して、低コスト、かつ高品質の放電装置を得る。【構成】 酸化性ガス中で放電電極間に電界を印加することにより放電を生起せしめる放電装置において、該放電電極のうち少なくとも1つが該ガスに露出する露出電極であり、該露出電極が元素周期律表のIa、IIa、IIIa族から選ばれる少なくとも1種の元素を含有する導電性酸化物を含むことを特徴とする放電装置。
請求項（抜粋）：
酸化性ガス中で放電電極間に電界を印加することにより放電を生起せしめる放電装置において、該放電電極のうち少なくとも1つが該ガスに露出する露出電極であり、該露出電極が元素周期律表のIa、IIa、IIIa族から選ばれる少なくとも1種の元素を含有する導電性酸化物を含むことを特徴とする放電装置。
IPC (2件)：
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